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恒泰烘干設備
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雙腔立式晶圓甩干機 SRD
通用型離心機
智能離心脫水機
雙腔立式晶圓甩干機 SRD
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氮氣保護烘干箱
雙腔立式晶圓甩干機 SRD
產品介紹
產品優勢
產品結構
產品細節
技術參數
應用領域
SSG 系列
雙腔立式晶圓甩干機 SRD
DSG系列旋轉沖洗甩干機是高潔凈度沖洗甩干設備
可適用于標準尺寸晶圓、非標準規格圓片及方片、硅晶片、氮化鉀、砷化鎵、藍寶石、掩模版等各種半導體應用材料濕法工藝甩干
專利產品
產品優勢
1. 無刷伺服電機驅動,保證設備穩定可靠及潔凈度要求。
2. 迷宮式氮氣密封,腔內與腔外隔離,無接觸式密封效果,確保工藝環境要求。
3. 采用PTFE 氣控閥組件,PVDF 管路及接頭。
4. 采用316L 不銹鋼材質,表面電解拋光處理。
功能特點
沖洗,吹凈,吹干,烘干功能,利用高速旋轉離心力,把殘留附著化學試劑及顆粒塵埃甩除,同時潔凈氮氣把殘留顆粒塵埃帶走,使產品表面潔凈干燥潔凈。
靜電消除功能,產品高速運動時會產生靜電,利用高壓除靜電裝置使產品表面達到中和狀態。
電導率監控,監控清洗水質及產品表面殘留附著化學試劑及顆粒塵埃過多,不符合甩干前要求,提示并發出警示,避免不良品進入下道工藝。
不銹鋼加熱器氮氣加熱,加熱膜腔體加熱,PID 溫度精度控制,可選擇提前預熱。自動清洗功通能選擇,可設定間隔時間,確保設備始終保持潔凈狀態。
氮氣0.003UM 過濾,確保工藝氣體潔凈度。
機械自復位功能,停機待機片盒朝上。
氮氣壓力,門密封狀態,片盒朝上等條件保護。
控制單元單獨控制,單獨運行,操作簡單,維修方便。
產品細節
細節決定成敗
不銹鋼內筒
內筒采用4.0mm304不銹鋼制作,具有定時操作功能
嚴謹選材
嚴選電機,運轉速度快,脫水率高
按鈕開關
按鈕開關,一按即可運行,操作簡單
技術參數
您可以選擇多種型號
型號
工作腔數量
硅片規格 mm
旋轉速度 r/min
氮氣壓力 Mpa
去離子水壓力 Mpa
外型尺寸(長x寬x高)mm
電源功率 kw
電壓 / 頻率
DSG04
2
12”
300-1200
0.3
0.3
963x850x2300
8
AC380V 50HZ
應用領域
半導體行業
汽車鑄件
電鍍緊固件行業
醫療行業
晶圓硅片
晶圓硅片
晶圓硅片
半導體電路板
半導體電路板
汽車鑄件
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緊固件
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