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型號 model |
半導體行業 |
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SG1 |
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工作腔數量 |
1 |
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硅片規格 mm |
2.5", 3", 4", 5", 6",8"，12” 25片盒 |
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旋轉速度 r/min |
0-900 |
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氮氣壓力 |
0.3 |
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去離子水壓力 |
0.3 |
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電阻率監控 |
可選 optional |
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氮氣密封 Nitrogen seal |
有 Yes |
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空/氮氣烘干 |
有 Yes |
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氮氣加熱方式 |
熱傳導 Heat exchange |
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氮氣加熱溫度 |
30-120℃ PID控溫 30-120℃ PID control |
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輔助加熱系統 |
有 Yes |
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腔體電化學拋光 |
可選 optional |
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電機驅動 |
變頻調速 Speed regulating by frequency conversion |
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控制系統 |
PLC可編程控制器 PLC |
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控制顯示器 |
液晶觸摸屏 LCD touch screen |
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外型尺寸（長x寬x高）mm |
1040x1095x894 |
1636X1552X1007 |
1250x1296x970 |
1376x1296x1007 |
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電源功率 kw |
5 |
6 |
6 |
6 |
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電壓 / 頻率 |
AC380V 50HZ (三相四線) / AC380V 50HZ (3-phase) |
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